Giới thiệu chung

• HORIBA (Nhật Bản) là hãng hàng đầu về thiết bị đo và điều khiển lưu lượng chất khí/chất lỏng — đặc biệt là các bộ điều khiển lưu lượng khối lượng (mass flow controller – MFC) và bộ đo lưu lượng khối lượng (mass flow meter – MFM). horiba.com+2horiba.com+2

• Dòng sản phẩm áp dụng công nghệ “thermal mass flowmetry” (cảm biến nhiệt) và modules lưu lượng không nhạy áp suất (pressure insensitive) giúp đo và điều khiển lưu lượng khí trong điều kiện thay đổi nhiệt độ/áp suất. horiba.com+1

• Ví dụ mẫu:

  • SEC-E Series: “general purpose” mass flow controller, dải đo từ 10 SCCM đến ~200 SLM (N₂ equivalent) cho khí công nghiệp.

  • SEC-Z500X Series: digital mass flow controller đa gas/đa dải (multi-gas/multi-range) với độ chính xác ±1.0% S.P. và đáp ứng thời gian nhanh.

🛠 Đặc điểm nổi bật

• Dải đo rộng & đa dạng: Ví dụ SEC-N100 Series có thể từ 10 SCCM tới 1000 SLM.

• Độ chính xác cao: ±1.0% S.P. hoặc tốt hơn ở một số dòng.

• Khả năng chịu áp suất & nhiệt độ thay đổi: Các module lưu lượng “pressure insensitive” phù hợp cho ứng dụng bán dẫn và môi trường yêu cầu cao. horiba.com+1

• Giao tiếp hiện đại: Hỗ trợ analog, digital, bus như DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS™ tùy mẫu.